真空等离子清洗机(离线offline）—— VPC42
产品名称：真空等离子清洗机(离线offline）—— VPC42
产品分类：真空等离子清洗机 >
中文 中文 English 网站首页 产品中心 非标定制 解决方案 应用场景 新闻资讯 关于我们 联系我们 半导体整体解决方案 》热激活高真空共晶炉 >> 极速降温真空共晶炉 >> 晶圆级真空回流炉 >> 晶圆键合机/TCB热压键合系统 >> 纳米银烧结真空炉 >> 氮气炉 >> 亚微米共晶贴片机 >> 氮气气氛真空炉 氮氢混合气氛真空炉 氢气气氛真空炉 甲酸气氛真空炉 按焊接气氛分类 >> 氮气循环真空炉 石墨热板真空炉 金属热板真空炉 碳化硅热板真空炉 红外加热真空炉 气相液真空炉 按加热方式分类 >> 实验室 实训生产 芯片封装整体解决方案 >> 实验室 实训生产 SIC芯片银烧结封装整体解决方案 >> 单腔体真空共晶炉 单腔体真空回流炉 多层真空回流炉 真空气相回流炉 氮气回流炉 高真空共晶炉 离线式真空炉 >> 板式加热真空炉 全真空烧结炉 热风真空炉 连线式真空炉 >> 真空甲酸炉 氮气甲酸炉 甲酸炉 >> 红外芯片封装真空炉 MEMS器件真空封焊炉 SMT氮气循环真空回流炉 芯片管壳封装用真空共晶炉 金锡焊环预制真空共晶炉 IGBT真空烧结炉 激光器真空共晶炉 SIC正压银烧结炉 SIC真空回流炉 UVC真空共晶炉 铟柱成球真空共晶炉 按焊接产品分类 >> 真空等离子清洗机 >> 无氧烘箱 压力烘箱 无氧压力烘箱 >> 真空回流炉 微正压真空共晶炉 正压真空共晶炉 高压真空共晶炉 机械压力真空共晶炉 按焊接压力分类 >> 非标贴片机定制 非标贴标机定制 非标回流炉定制 非标真空炉定制 非标固化炉定制 其他非标定制项目 客户案例 》 SIC Mosfet封装案例 IGBT封装案例 芯片3D堆叠封装案例 核工业可靠性产品封装案例 高功率激光器封装案例 红外芯片封装案例 原子钟封装案例 微波芯片封装案例 MEMS封装案例 行业新闻 公司新闻 问题解答 证书公示 品牌简介 荣誉资质 企业文化 视频资料 组织架构 中科同志——成为地球上芯片特种封装领域最受人尊敬的企业芯片真空封装 芯片正压封装 芯片热压封装 热压键合 银烧结专业厂家 搜索 首页 >> 真空等离子清洗机 >> 真空等离子清洗机(离线offline）—— VPC42 首页 > 真空等离子清洗机 > 真空等离子清洗机(离线offline）—— VPC42 真空等离子清洗机(离线offline）—— VPC42 VPC42系列真空等离子清洗机是为研发型以及小批量工业生产级客户而设计的等离 子体表面清洗设备，配置丰富，且真空腔体里可分层，适合大多数生产场景。适用 于等离子清洗，活化以及刻蚀等多种应用，主要用于硅晶圆、玻璃基板、陶瓷基 板、IC载板、铜引线框架、大尺寸单面基板电源板、IGBT模块、带治具的MEMS传 感器、微波器件、滤波器、射频器件等半导体封装领域的等离子表面处理工艺。设 备稳定，产品处理重复性、一致性好。 VPC42系列真空等离子清洗机软件控制系统，操作简单，能接控制设备及设定各种 清洗工艺，并根据工艺不同进行设定、修改、存储、调用；软件控制系统自动的实 时记录清洗工艺参数、时间、报警相关数据，保证产品清洗工艺的可追溯性。
VPC42系列真空等离子清洗机是为研发型以及小批量工业生产级客户而设计的等离 子体表面清洗设备，配置丰富，且真空腔体里可分层，适合大多数生产场景。适用于等离子清洗，活化以及刻蚀等多种应用，主要用于硅晶圆、玻璃基板、陶瓷基板、IC载板、铜引线框架、大尺寸单面基板电源板、IGBT模块、带治具的MEMS传感器、微波器件、滤波器、射频器件等半导体封装领域的等离子表面处理工艺。设备稳定，产品处理重复性、一致性好。
VPC42系列真空等离子清洗机软件控制系统，操作简单，能接控制设备及设定各种 清洗工艺，并根据工艺不同进行设定、修改、存储、调用；软件控制系统自动的实时记录清洗工艺参数、时间、报警相关数据，保证产品清洗工艺的可追溯性。
1.PLC控制整个清洗过程，全自动进行。
2.射频电源功率可控，满足不同工况使用。
3.真空度更低，保证工件在低氧环境中清洗，有效防止氧化。
4.彩色触摸屏互动操作界面，实时工作参数状态直观显示。
5.通过晶圆料盒，机械手自动上料。
6.数字流量计控制，控制更准确。标配双路气体，可选多气路。可输入氧气、氩气、 氮气、四氟化碳、氢气或混合气体等气体。
7.合理的结构设计，采用上开盖式传送方式，配置FFU洁净系统。
8.设备配置二流体清洗单元，最大流量2L/min；旋转甩干，最大旋转速度：2000rpm。
9.氧化硅晶圆活化处理后表面接触角＜5°；氧化层厚度变化量＜1nm； 粗糙度Ra变化＜0.5nm。
产品特点
- 13331091975 致力于亚微米贴片和高真空焊接15年联系电话欢迎访问中科同帜半导体（江苏）有限公司 网站！ 中文 中文
- English
- 半导体整体解决方案 》热激活高真空共晶炉 >> 极速降温真空共晶炉 >> 晶圆级真空回流炉 >> 晶圆键合机/TCB热压键合系统 >> 纳米银烧结真空炉 >> 氮气炉 >> 亚微米共晶贴片机 >> 氮气气氛真空炉
- 氮氢混合气氛真空炉
- 氢气气氛真空炉
- 甲酸气氛真空炉
- 氮气循环真空炉
- 石墨热板真空炉
- 金属热板真空炉
- 碳化硅热板真空炉
- 红外加热真空炉
- 气相液真空炉
- 单腔体真空共晶炉
- 单腔体真空回流炉
- 多层真空回流炉
- 真空气相回流炉
- 高真空共晶炉
- 板式加热真空炉
- 全真空烧结炉
- 红外芯片封装真空炉
如需了解更多产品详情或获取报价，请联系中科同帜半导体。
